Super Röntgen Flächendichtmiessungsinstrument
Prinzipie vun der Miessung
Wann de Stral d'Elektrode bestraalt, gëtt de Stral vun der Elektrode absorbéiert, reflektéiert a verstreet, wat zu enger gewësser Dämpfung vun der Straleintensitéit nom duerchscheinenden Elektrode am Verhältnes zur Intensitéit vum afalenden Strale féiert, an hiert Dämpfungsverhältnis ass negativ exponentiell mam Gewiicht oder der Flächendicht vun der Elektrode.
I=I_0 e^−λm⇒m= 1/λln(I_0/I)
I_0: Ufanksstralintensitéit
I: Strahlenintensitéit no der Sendelektrode
λ: Absorptiounskoeffizient vum gemoossenen Objet
m : Déckt/Flächendicht vum gemoossenen Objet
Highlights vun der Ausrüstung
Vergläich vu Halbleitersensor- a Lasersensormiessung
● Miessung vun detailléierte Konturen a Funktiounen: Millimeter-Räumlechkeetsmiessung vun der Flächendichtkontur mat héijer Geschwindegkeet an héijer Präzisioun (60 m/min)
● Ultra-Breetmiessung: Upassung un eng Beschichtungsbreet vu méi wéi 1600 mm.
● Ultra-héichgeschwindegkeetsscannen: justierbar Scangeschwindegkeet vun 0-60 m/min.
● Innovativen Hallefleederstrahlendetektor fir Elektrodenmiessung: 10-mol méi séier Reaktioun wéi traditionell Léisungen.
● Ugedriwwe vun engem Linearmotor mat héijer Geschwindegkeet a Präzisioun: d'Scangeschwindegkeet gëtt ëm den 3-4-fache vergréissert am Verglach mat traditionelle Léisungen.
● Selbstentwéckelt Héichgeschwindegkeetsmiesskreesser: D'Samplingfrequenz ass bis zu 200 kHz, wat d'Effizienz an d'Genauegkeet vun der zouener Beschichtung verbessert.
● Berechnung vum Verdënnungskapazitéitsverloscht: D'Punktbreet kann bis zu 1 mm kleng sinn. Et kann detailléiert Eegeschafte wéi d'Konturen vun der Kantverdënnungsfläch a Kratzer an der Beschichtung vun der Elektrod präzis moossen.
Software-Interface
Personaliséierbar Display vun der Haaptinterface vum Miessungssystem
● Bestëmmung vun der Verdënnungsfläch
● Kapazitéitsbestëmmung
● Kratzbestëmmung
Technesch Parameteren
| Artikel | Parameter |
| Stralungsschutz | D'Stralungsdosis vun 100 mm vun der Uewerfläch vum Apparat ass manner wéi 1 μsv/h |
| Scangeschwindegkeet | 0-60m/min justierbar |
| Prouffrequenz | 200k Hz |
| Äntwertzäit | <0,1ms |
| Miessberäich | 10-1000 g/㎡ |
| Fleckbreet | 1mm, 3mm, 6mm optional |
| Miessgenauegkeet | P/T≤10%Integral a 16 Sekonnen: ±2σ: ≤±true Wäert × 0,2‰ oder ±0,06g/㎡; ±3σ: ≤±true Wäert × 0,25‰ oder ±0,08g/㎡;Integral a 4 Sekonnen: ±2σ: ≤±true Wäert × 0,4‰ oder ±0,12g/㎡; ±3σ: ≤±true Wäert × 0,6‰ oder ±0,18g/㎡; |
